В книге крупного специалиста из Великобритании рассмотрены вопросы теории и практики сверхвысокого вакуума. Представлены сведения о материалах, используемых в условиях вакуума, средствах получения и сохранения высоких степеней разрежения и способах измерения давлений. Описаны методы контроля герметичности. Рассмотрены некоторые модели новейшего научного и промышленного оборудования.
Для специалистов в области вакуумной техники, а также для широкого круга экспериментаторов, работающих в смежных областях техники и использующих вакуум в своей практической деятельности.
Размер: 4,06 Мб
Формат: djvu
Скачать книгу с yadi.sk
Не работает ссылка? Напишите об этом в комментарии.
Оглавление:
1. Введение. Основные законы и понятия, относящиеся к вакуумной технике.
1.1. Свойства вакуума.
1.2. Молекулярио-кинетическая модель вакуума.
1.3. Течение газа в вакуумных системах.
1.4. Откачка вакуумных систем.
1.5. Источники газа в вакуумной системе.
2. Материалы высоковакуумных систем.
2.1. Требования к материалам в системах сверхвысокого вакуума.
2.2. Стекло.
2.3. Металлы.
2.4. Керамики.
2.5. Другие материалы.
2.6. Способы изготовления герметичных неразъемных соединений.
3. Насосы.
3.1. Введение.
3.2. Диффузионные насосы.
3.3. Турбомолекулярные насосы.
3.4. Адсорбционные насосы.
3.5. Криогенные насосы.
3.6. Сублимационные и геттерные насосы.
3.7. Ионные насосы.
3.8. Критерии выбора вакуумных насосов.
4. Измерение полных давлений.
4.1. Введение.
4.2. Ионизационные вакуумметры.
4.3. Динамические и радиометрические вакуумметры.
4.4. Градуировка вакуумметров.
5. Измерение парциальных давлений.
5.1. Введение.
5.2. Основные параметры масс-спектрометров.
5.3. Источники ионов.
5.4. Статические масс-спектрометры.
5.5. Динамические масс-спектрометры.
5.6. Регистрация ионов.
5.7. Градуировка и характеристики масс-спектрометров.
6. Конструкционные элементы высоковакуумных систем.
6.1. Общие сведения.
6.2. Разъемные соединения.
6.3. Механические вакуумные вводы и подвижные уплотнения
6.4. Клапаны.
6.5. Вспомогательное вакуумное оборудование.
6.6. Система подпитки жидким азотом.
7. Вакуумные системы.
7.1. Введение.
7.2. Общие требования, предъявляемые к вакуумным системам
7.3. Откачка системы. Общие сведения.
7.4. Общие методы конструирования вакуумных систем.
7.5. Примеры применения сверхвысокого вакуума.
8. Течеискание.
8.1. Основные методы (общие сведения).
8.2. Требования к степени герметичности вакуумных систем
8.3. Вакуумометрический метод.
8.4. Метод обнаружения течей при помощи ионного насоса
8.5. Галогенный метод.
8.6. Масс-спектрометрический метод.
8.7. Градуировка масс-спектрометрических течеискателей.